我国造出世界最大面积中阶梯光栅—新闻—科学网

本报长春11月13日电 （记者喻思娈）记者从中科院长春光机所获悉：由该所承担的国造光栅国家重大科研装备研制项目“大型高精度衍射光栅刻划系统的研制”11日通过验收，并制造出世界最大面积中阶梯光栅。出世这标志着我国大面积高精度光栅制造中的界最积中阶梯相关技术达到国际领先水平，结束了在高精度大尺寸光栅制造领域受制于人的大面局面。

衍射光栅是新闻一种纳米精度周期性微结构的精密光学元件，在光谱学、科学天文学、国造光栅激光器、出世光通讯、界最积中阶梯信息存储等领域中有重要应用。大面光栅面积大可获得高集光率和分辨本领，新闻精度高可获得更好的科学信噪比，但制造出大而精的国造光栅光栅是世界性难题。

光栅刻划机是出世制作光栅的母机，因其部件的界最积中阶梯加工装调精度难，运行保障环境要求高，被誉为“精密机械之王”，本项目研制的光栅刻划机，几乎所有关键部件都冲击世界极限水平。研制期间，科研人员突破了精密机械加工、精密光学加工、精密检测、高精度微位移控制等一系列关键技术，并研制出面积达400毫米×500毫米、精度为10纳米的光栅，这也是目前世界上面积最大的中阶梯光栅。

此前，只有美国能够制作300毫米以上中阶梯光栅，我国的中阶梯光栅制造能力不足300毫米，精度也达不到10纳米精度水平，战略高技术领域所需要的高精度大尺寸光栅受到国外严格限制。项目负责人、中科院长春光机所研究员唐玉国表示，大型高精度光栅刻划系统以及大面积中阶梯光栅的研制成功，能帮助我国光谱仪器行业摆脱“有器无心”局面，改变我国光谱仪器产业处于行业低端现状。